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3D形貌儀/白光干涉輪廓儀
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Filmetrics 3D光學輪廓儀具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率, Profilm3D同樣使用了現今高分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。
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