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動態激光干涉儀是一種高精度的光學測量儀器,主要用于測量光學元件的表面形貌、材料的熱膨脹系數、機械應力場等。該儀器基于干涉原理,通過激光光束的干涉效應來實現對被測對象的測量和分析。它廣泛應用于工業生產、科學研究、醫學診斷等領域,具有高精度、快...
翹曲度測量儀是一種用于測量物體表面翹曲程度的設備。它可以被使用在各種不同的領域,如汽車工業、航空航天、建筑等等。然而,使用這種設備需要注意一些問題,以確保數據的準確性和可靠性。首先,使用翹曲度測量儀時要確保其穩定性。由于設備精度很高,所以即使是微小的移動或震動都會對測量結果產生影響。因此,在測量過程中應盡可能避免人為的干擾,同時也要注意設備的放置位置,確保其與地面接觸良好,并遠離振動源。其次,使用者需要掌握正確的操作方式。翹曲度測量儀通常配有復雜的軟件和控制系統,因此需要經過...
隨著傳統的2D硅縮放達到其成本極限,半導體行業正在轉向異構集成-將具有不同特征尺寸和材料的多個不同組件或管芯的制造,組裝和封裝到單個設備或封裝中,以提高性能,這就是混合鍵合技術。EVG是面向MEMS、納米技術和半導體市場的晶圓鍵合和光刻設備的供應商,近期推出了EVG®320D2W裸片制備和活化系統,這是業內弟一個用于混合硅酸鹽管芯對晶片鍵合活化和清洗系統。晶圓鍵合系統集成了D2W鍵合所需的所有關鍵預處理模塊,包括清潔,等離子體活化,芯片對準驗證和其他必要的計量工具,并...
電容式位移傳感器是一種廣泛應用于機械加工、自動化控制和精密測量等領域的傳感器。它可以檢測物體的微小位移,并將其轉換為電信號輸出,具有高精度、高靈敏度、可重復性好等特點。電容式位移傳感器的工作原理基于電容的變化。當兩個帶電電極之間有介質隔開時,它們之間的電容量會受到介質性能和電極間距離的影響而改變。因此,在該傳感器中,常采用平行板電容器的結構,將一個電極固定在底部的稱為靜電極,另一個電極固定在一個動態可移動的測量物體上,稱為運動極。當測量物體發生微小的位移時,運動極的位置也會發...
電鏡隔振臺是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統,有利于為基礎研究、應用研究、生產等領域所用精密儀器創造穩定的測量環境。本產品可在寬頻率范圍內進行隔振,為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、微型檢測設備等提供優異的隔振性能。工作原理:安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響,有效的解決方案則是使用隔振臺,以便營造適合該設備的條件。電鏡隔振臺使用電氣控制,通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動,并基于該信息,執行器沿相反方向產生...
1.簡介光學光刻(Opticallithography),也稱為光學平版印刷術或紫外光刻,是在其他處理步驟(例如沉積,蝕刻,摻雜)之前用光刻膠對掩模和樣品進行構圖的方法。2.設備(接近式光刻機)2.1HMDS及涂膠1)標準旋轉工藝中包括HMDS蒸汽預處理2)烤箱-批量處理多個晶圓3)HMDS也可以在手動旋轉器上旋轉涂布4)涂膠機上進行光刻膠的涂布2.2對準接觸光刻1)光刻前的對準2)對準器——處理具有對準圖形的晶圓3)EVG610等掩模對準機——尺寸從碎片到12”晶圓4)曝光...