光學(xué)輪廓儀是一種雙LED光源的非接觸式光學(xué)儀器,對(duì)樣品基本上沒有損害。視樣品選擇不同測(cè)量模式。相移干涉模式(PSI)主要用于測(cè)量光滑表面粗糙度;垂直掃描干涉模式(VSI)則可以做高度、寬度、曲率半徑,粗糙度的計(jì)測(cè)等。
光學(xué)輪廓儀工作原理:
光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào),通過測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。
3D形貌地圖配合色譜圖,非常直觀,但橫向測(cè)試范圍,縱向高度尺度也很關(guān)鍵。在超精密加工中,3D AOI是對(duì)傳統(tǒng)精密加工上的升級(jí),彌補(bǔ)了傳統(tǒng) AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷,改進(jìn)設(shè)備性能以滿足各大電子廠對(duì)質(zhì)量和產(chǎn)品能得雙重要求。光學(xué)輪廓儀工作原理是基于白光干涉原理而研發(fā)生產(chǎn)的,能以非接觸的方式,無(wú)損檢測(cè)精密機(jī)械加工表面,檢測(cè)結(jié)果以3D數(shù)據(jù)地圖的方式顯示,能直觀地展示了表面紋理特征。
如表面粗糙度的測(cè)量。表面粗糙度跟形狀誤差、波紋度等參數(shù)一樣,是表面微觀幾何特征,它們共同構(gòu)成了物體的表面原始形貌特征。表面二維形貌特征的分析與評(píng)定通常是對(duì)粗糙度參數(shù)進(jìn)行的評(píng)定,通常把小于lmm波距的形貌特征歸結(jié)為表面粗糙度,而波距在1~10mm之間的定義為表面波紋度,大于10mm的則屬于目測(cè)可知的宏觀幾何形狀特征。
其實(shí)光學(xué)輪廓儀測(cè)量表面粗糙度步驟很簡(jiǎn)單,具體如下:
1、將樣品放置在載物臺(tái)鏡頭下方;
2、檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài);
3、使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋;
4、完成掃描設(shè)置和命名等操作,點(diǎn)擊開始測(cè)量;
5、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理模塊,點(diǎn)擊校平,平面樣品采用默認(rèn)校平,點(diǎn)擊右下角應(yīng)用保存操作;
6、進(jìn)入分析工具模塊,點(diǎn)擊參數(shù)分析,直接獲取面粗糙度數(shù)據(jù),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)可更換參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)、增刪參數(shù)類型;
7、如果想獲取線粗糙度數(shù)據(jù),則需提取剖面線;
8、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊提取剖面圖標(biāo),選擇斜線,沿垂直于紋理方向提取剖面線;
9、進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊參數(shù)分析圖標(biāo),點(diǎn)擊右側(cè)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),勾選所需線粗糙度相關(guān)參數(shù),即可獲取線粗糙度Ra數(shù)據(jù)。